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高精度XY軸直線模組

作者:Mosen摩森機電 日期:19/02/20 10:36 瀏覽:1039

Akribis直線模組設(shè)計特點:

A. 直線電機直驅(qū)

B. 高精度以及精準(zhǔn)回零

C. 3種蓋板可供選擇(包括無塵室蓋板)

D. 行程從100 mm 至1200mm

E. 模塊化設(shè)計


 DGL系列(雙導(dǎo)軌直線模組)采用Akribis直線電機系統(tǒng),具有高剛性以及高穩(wěn)定性的特點。作為Akribis標(biāo)準(zhǔn)模組為客戶提供方便快捷的模組制定方案。


直線電機直驅(qū)

采用Akribis直線電機對模組進行直接驅(qū)動。兩種型號電機可供選擇: AUM系列(無鐵芯電機)ACM系列(有鐵芯電機)。AUM系列為客戶提供低速更加穩(wěn)定的模組系統(tǒng)。ACM系列在相同尺寸下為客戶提供更大的直驅(qū)推力。

 

高精度以及精準(zhǔn)回零

DGL系列標(biāo)準(zhǔn)模組采用高精度的光柵編碼器系統(tǒng),為客戶提供高精度的定位平臺。

 

模塊化設(shè)計

DGL系列采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊設(shè)計,可以根據(jù)客戶需求進行模塊化組合。

1562567574549239.

直線模組XY直線模組XYZ直線模組XYZ直線模組XY直線模組


性能參數(shù)單位參考值
加速度G10
速度(分辨率為1μm)




m/s

5(40μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率)
速度(分辨率為0.5μm)2.5(20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率)
速度(分辨率為0.1μm)1.3(20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率)
速度(模擬量編碼器)8(40μm光柵距和200KHz輸入頻率)
4(20μm光柵距和200KHz輸入頻率)
*直線度





μm

±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
*平面度±3μm/25mm,NTE±8μm/300mm
重復(fù)精度(分辨率為1μm)±3μm(40μm光柵柵距)
重復(fù)精度(分辨率為0.5μm)±1.5μm(20μm光柵柵距)
重復(fù)精度(分辨率為0.1μm)±1μm(20μm光柵柵距)
重復(fù)精度(模擬量編碼器)±5counts


*所有的測量數(shù)值基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。




SFB-直線模組

高精度XY軸直線模組


 



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